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产品知识

冷水机在半导体产品生产加工的应用

      上海田枫厂家在这里和大家讨论下冷水机在半导体产品生产加工的应用,在芯片、晶元、液晶面板、集成电路等半导体产品生产加工过程中,半导体产品生产主工艺设备对加工温度有着很苛刻的要求。主工艺设备在半导体产品加工过程中,需要维持恒定的环境温度,如果配套控温设备温度波动过大就会造成废品和残次品,引起不必要的经济浪费。

       现在主流的给主工艺设备配套的控温设备温控能力可以达到空载状态下温度波动不超过±0。05℃,带载状态下不超过±0。5℃。目前常用的控温方式为间接制冷系统,是利用控温设备的冷水机制冷系统冷却载冷剂,再经过电加热器进行温度调节,持续不断地向主工艺设备端供应恒温载冷剂,通过载冷剂与主工艺设备热交换腔进行热量交换,维持半导体主工艺设备的恒温状态。

点击次数:  更新时间:2019-03-15  【打印此页】  【关闭
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